CHEMICAL DELIVERY SYSTEM (CDS) / SLURRY DELIVERY SYSTEM
자체 개발한 액체 공급 장비로 케미컬(슬러리 가능) 공급 장비 입니다.
EvoNexx EX-DOX
EvoNexx EX-DOX는 친환경 과산화수소 대체재로 살균 및 소독 악취제거(탈취효과) 효능이 탁월하고 무독, 무해해 의료 및 위생 용도로 적합 합니다.
MATTDOL Plus : 6 Inch, 8 Inch
기존 AMAT Mirra Mesa에 단점(파트 수급, 조립 복잡함)등을 개선한 비텍의 자체 개발 CMP입니다.