MATTDOL Plus : 6 Inch, 8 Inch

기존 AMAT Mirra Mesa에 단점(파트 수급, 조립 복잡함)등을 개선한 비텍의 자체 개발 CMP입니다.
맷돌 플러스에 장착되는 모든 파트는 현 시장의 상황에 맞게 구하기 쉽고 검증된 파트들로 구성되어 있어, 타사 제품 대비 에러율이 적고 가격이 저렴하단 장점이 있습니다.
또한 사용자의 입장을 고려한 자체 개발 소프트웨어를 사용하여 타사 제품 대비 쉽고 직관적인 UI구성으로 CMP공정에 투자하는 시간을 최소화할 수 있도록 하였습니다.

• 6/8 INCH 4 HEAD(3ZONE ~ 6ZONE)
• 3 PLATEN
• 3 PAD CONDITIONER
• MEGASONIC
• BRUSH
• SRD
• EFEM, EPD
• 6/8 INCH CONVERT KIT (OPTION)
• wafer defect monitoring system
• oxixe thickness measurement tool

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