ULVAC
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| ULVAC PART | ||||
| NO | 제 품 명 | Part. No | 장 비 명 | 재질 |
| 1 | RING COVER DOUBLE CATHODE | 61-10102 | 1016698-1 | Q’TZ |
| 2 | PLATE GAS DIFFUSER TOP | 61-10103 | 1018517-03 | Q’TZ |
| 3 | SHIELD GDS | 61-10104 | 1018518-03 | Q’TZ |
| 4 | PLATE SHIELD TOP | 61-10106 | 1019020-04 | Q’TZ |
| 5 | RING INSULATED FITTED | 60-10107 | 1023312-02 | Q’TZ |
| 6 | TUBE DOWNSTREAM | 61-10108 | 1017446-01 | Q’TZ |
| 7 | PEDESTAIL LG NEST W/MULTICROSS GROOVE | 61-10112 | Q’TZ | |
| 8 | TUBE APPLICATOR Q’TZ | 61-10105 | 1018882-02 | Q’TZ |
| 9 | PROCESS KIT SHIELD ALU | 1026937-00 | AL | |
| 10 | PLATE GDS NO TOP Q’TZ | 1016689-03 | Q190305-04-02 | Q’TZ |
