Chemical Delivery System
CHEMICAL DELIVERY SYSTEM(CDS)
자체 개발한 액체 공급 장비로 케미컬(슬러리 가능) 공급 장비 입니다.
제품 개발 시작은 CMP장비에 안정적인 케미컬(슬러리)공급을 위해 개발하였지만,
안정적인 액체 공급이 필요한 곳이면 어디든 적용 가능합니다.
제품 사양
- W900 X D800 X H2150
- 최대 3개의 액체(WATER+@+@) 사용 가능
- 보관 탱크 용량 30/40/100L 선택 가능(제품 외관 사이즈 동일)
- 자동 레시피 배합 가능(레시피에 따라 자동 교반)
- 믹싱탱크 교반(기본)
- 보관탱크 교반(OPTION)
- PH 미터 (OPTION)
