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| TEL PART | |||
| NO | 제 품 명 | Part. No | 재 질 |
| 1 | Q’TZ PROCESS TUBE | 2105-120072-52 | Q’TZ |
| 2 | Q’TZ BOAT | 2105-122046-51 | Q’TZ |
| 3 | Q’TZ PEDESTAL BASE | 2105-220860-51 | Q’TZ |
| 4 | Q’TZ CAP | 2105-220750-51 | Q’TZ |
| 5 | Q’TZ FIN | 1105-302530-51 | Q’TZ |
| 6 | Q’TZ BASE SUPPORT | 1105-302445-12 | Q’TZ |
| 7 | Q’TZ SHUTTER | 1105-302156-61 | Q’TZ |
| 8 | THERMOCOUPLE INNER | 2187-346597-11 | Q’TZ |
| 9 | SI FOCUS RING | 1D10-309946-12 | SI |
| 10 | RING INSULATOR A7 LA-Q | 1D05-300190-12 | Q’TZ |
| 11 | RING INSULATOR A7 LA4-8 | 1D05-300188-12 | Q’TZ |
